চরম অতি - ভায়োলেট এবং এর অ্যাপ্লিকেশন

ইইভিভি 13.5 এনএম এর তরঙ্গদৈর্ঘ্যের সাথে চরম আল্ট্রা-ভায়োলেটকে নির্দেশ করে। এছাড়াও নরম এক্স-রে বলা চরম অতিবেগুনী আলো ব্যবহার করে EUV এক্সপোজার প্রযুক্তি এক্সপোজার প্রযুক্তির একটি নতুন প্রজন্মের মত আশা করা যায় যা সেমিকন্ডাক্টরগুলিকে আরও ক্ষুদ্রতর করে তুলতে পারে।

পূর্বের অর্ধপরিবাহী এক্সপোজার কৌশলটি ক্ষুদ্রতরকরণের প্রয়োজনীয়তা সন্তুষ্ট করার জন্য প্রদত্ত আলোটির তরঙ্গদৈর্ঘ্যকে সংকুচিত করে এক্সপোজারের সময় রেসোলিউশন বৃদ্ধি করা ছিল। তবে, গত 10 বছরে এক্সপোজার তরঙ্গদৈর্ঘ্য 193 এনএম তে অপরিবর্তিত রয়েছে। কারণটি হল একটি তরল বিস্ফোরিত এক্সপোজার টেকনিক চালু করেছে যা লেন্স এবং ওয়েফারের মধ্যে পানি ঢেকে রেখেছে এবং রেজোলিউশন বৃদ্ধির জন্য তরঙ্গদৈর্ঘ্যকে শূন্যতার পরিবর্তে পুনরাবৃত্তি হিসাবে একটি ডবল এক্সপোজার কৌশল।

উল্লেখযোগ্যভাবে এক্সপোজার তরঙ্গদৈর্ঘ্য ক্ষণস্থায়ী

ইইউভি এক্সপোজার এক্সপোজার তরঙ্গদৈর্ঘ্য 13.5 এনএম থেকে ছোট করে দেয়, ফলে এক্সপোজারের সময় রেসোলিউশন বৃদ্ধি পায়। (এই চিত্রটি নিক্কেই ইলেকট্রনিক্স দ্বারা উত্পাদিত হয়েছিল আন্তর্জাতিক প্রযুক্তির রোডম্যাপ অর্ধপরিবাহী (আইটিআরএস) থেকে তথ্য। ছবিটি আসিমার সৌজন্যে।)

যাইহোক, এই প্রযুক্তির এছাড়াও সীমিত কাছাকাছি হচ্ছে। সর্বশেষ নিমজ্জন এক্সপোজার প্রযুক্তি 38 ন্যাওম একটি রেজল্যুশন আছে, এবং 19 nm এমনকি একটি দ্বিতীয় প্যাটার্ন এক্সপোজার কৌশল ব্যবহারের সাথে সীমা। আপনি যদি রেজোলিউশন বৃদ্ধি করতে থাকেন, তাহলে আপনাকে 3 বারের বেশি এক্সপোজার সংখ্যা বৃদ্ধি করতে হবে, যা খরচ বৃদ্ধি করবে। মাত্র 13.5 এনএম একটি তরঙ্গদৈর্ঘ্য সঙ্গে EUV এক্সপোজার প্রযুক্তি, প্রায় 14 এনএম একটি প্যাটার্ন সহজে একটি এক্সপোজার গঠিত হতে পারে।

তবে, ইইউভি এক্সপোজার প্রযুক্তির উন্নয়ন ধীরগতির এবং ধীরে ধীরে হচ্ছে। মূল কারণটি হল ইওভি আলোর উত্সের আউটপুট পাওয়ারটি বর্তমানে শুধুমাত্র 10 থেকে ২0 ওয়াট, যা এখনও ভর উৎপাদনের জন্য 250 ওয়াট থেকে অনেক দূরে। এই চলতে থাকলে, সেমিকন্ডাক্টর ক্ষুদ্রাকৃতির গতির উপর এটির বিশাল প্রভাব থাকবে। অতএব, এএসএমএল, যা ইইউভি এক্সপোজার সরঞ্জাম ব্যবসার সাথে জড়িত, অক্টোবর ২01২ এ ঘোষণা দেয় যে এটি উন্নয়নকে গতিসম্পন্ন করার জন্য ইউরোপের সবচেয়ে বড় ইওভি আলোর উৎসের সাইমারে অর্জন করবে। আসারের লক্ষ্য ২015 সালের মধ্যে ইউরোপীয় ইউনিয়নের হালকা উৎসের প্রয়োজনীয় 250 ডিগ্রি পাওয়ার পাওয়ারটি অর্জন করা।

চরম অতিবেগুনী আলোকসজ্জা (ইওভি) সবচেয়ে সম্ভাব্য প্রযুক্তির এক হিসাবে বিবেচনা করা যেতে পারে। যদিও এখনও অনেক প্রযুক্তি বর্তমানে পরাস্ত করার অপেক্ষায় আছে।

সেমিকন্ডাক্টর শিল্প দুটি গ্রাফিক এক্সপোজার প্রযুক্তি গ্রহণ করছে এবং ইইউভি প্রযুক্তির ক্রমবর্ধমান রূপান্তর নিয়ে আলোচনা করছে। অতএব, 2012 সাল পর্যন্ত, উন্নত প্রযুক্তির মূলধারার হিসাবে 22nm অর্ধেক পিচ এ গ্রাফিক্স এক্সপোজার প্রযুক্তি দ্বিগুণ ব্যবহার করবে। উত্তরদাতাদের মধ্যে 60.4% ব্যবহারকারী বিশ্বাস করেন যে দ্বৈত স্তর লিথোগ্রাফিতে দুটি প্যাটার্ন এক্সপোজার কৌশল ব্যবহার করা হবে এবং 51.1% যোগাযোগ স্তর লিথোগ্রাফিতে ব্যবহার করা হবে বলে মনে করা হয়। যাইহোক, 2014-2015 দ্বারা অনেক উত্তরদাতারা বিশ্বাস করেন যে 16 এনএম যুগের সময়, উত্তরদাতাদের 43% মনে করেন যে এটি গেট লেয়ার উত্পাদন ক্ষেত্রে প্রয়োগ করা যেতে পারে এবং 47.7% যোগাযোগ স্তর লিথোগ্রাফিতে ব্যবহার করা হয়েছে। ২013-14 অর্থবছরের সময় অনেক শিল্পী মনে করেন যে এটি 11 এনএম প্রবেশ করবে, যখন 60.6% উত্তরদাতারা বিশ্বাস করত যে এটি ফোটোলিথোগ্রাফির স্তরটির লিথোগ্রাফিতে প্রয়োগ করা যেতে পারে এবং তাদের 63.9% যোগাযোগ স্তর লিথোগ্রাফিতে ব্যবহার করা হয়েছে।